?? DZ450熱阻蒸發系統 - 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
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DZ450熱阻蒸發系統
編號:3
類別:蒸發鍍膜設備
  • 產品概述
  • 規格參數
  • 服務支持

    設備用途 

        適用于制備金屬薄膜等,可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作,也可用于大批量生產前的試驗工作。

     

    設備組成

     

        該設備主要由金屬源蒸發沉積室、真空排氣系統、真空測量系統、蒸發源、樣品加熱控溫、電控系統、配氣系統等部分組成。

    極限真空度:6x10-5Pa;

    抽速:6x10-4Pa≤30min;

    樣品尺寸:100x100mm;

    樣品臺溫度:300℃;

    有機束源爐組件:2套;

    熱阻蒸發源組件:2套;

    分子泵系統:1套;

    自動控制系統:1套;

    膜厚監測儀(1個探頭):1套;

    冷卻水路系統:1套。

    公司:中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司 

    地址:沈陽市渾南新區新源街1

    銷售電話:024-23826899、024-23826855

    售后電話:024-23826838

    傳真:024-23826828

    郵箱:sales@sky.ac.cn

    網址:www.titus2ministry.com

    開戶行:建行沈陽渾南新區產業園分理處

    賬號:2100 1394 6010 5958 1266

    納稅號:912101 0041 0581 2660

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